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850(W)×1000(D)×1850(H)mm
◆ 仓体结构(约200升)550(W)×700(D)×530(H)mm
◆ 电极面积550(W)×700(D)×530(H)mm，14层
◆ 等离子发生器(MF)频率40KHZ,功率0-3KW连续调节,自动阻抗匹配
◆ 控制系统有逻辑电路半自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)
进口气动角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管，
德国英福康Inficon高精度真空计、规管
◆ 处理气体两路工艺气体配置(氩气、氧气）美国高精度浮子流量计、针阀，
美国世伟洛克Swagelok不锈钢抛光气体管
